*一、项目基本情况

项目编号：清采招第20250546号（2541STC74979）

项目名称：清华大学多能量场辅助的超高硬脆晶圆抛光设备

预算金额：150.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：150.000000 万元（人民币）

采购需求：

包号	标的名称	采购包 预算金额 （万元）	数量	是否允许进口产品投标
01	多能量场辅助的超高硬脆晶圆抛光设备	150	1	否

简要技术需求或服务要求：

01包：设备须集成多能场辅助模块（如声、光、磁、剪切增稠等），主要功能是满足多种材料晶圆（硅基样品、碳化硅、金刚石等）的化学机械抛光（CMP）工艺需求，实现超硬脆材料的高效、高质量抛光。采购目标是构建一套具备多能量场调控、参数可视化及高精度反馈功能的超精密抛光系统，支撑实验室在超硬脆材料高质量加工与多场耦合机理研究方面的科研工作。

注：投标人必须针对本项目所有内容进行投标，不允许拆分投标。

合同履行期限：合同签订后6个月内完成标的交付、安装及调试工作，并达到验收合格标准。供应商所报产品整体质量保证期为验收合格之日起12个月。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

2.1 中小企业政策：本项目不专门面向中小企业采购。

2.2通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录，被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动。

3.本项目的特定资格要求：无

三、**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com