*一、项目基本情况

项目编号：0747-2561SCCCQ060

项目名称：等离子体增强化学气相沉积(PECVD)

预算金额：1050.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：1050.000000 万元（人民币）

采购需求：

• 采购需求一览表：

注：投标必须以采购包（也称为“包件”或“包”）为单位，对所投包件号中的所有内容进行投标，不允许将包件拆开投标,也不允许将几个包件合并报一个价格投标，评标、授标以包件为单位。

包件号	包件名称	标的名称	数量	预算 （万元）	交货期	交货地点	简要技术要求/项目基本概况/用途：	是否允许进口产品投标
1	等离子体增强化学气相沉积(PECVD)（第二次）	等离子体增强化学气相沉积(PECVD)（第二次）	1台	1050	合同签订后6个月内具备发货条件，在收到采购人发货通知后2个月内送达采购人指定地点。	采购人指定地点	采购1台等离子体增强化学气相沉积(PECVD)，PECVD设备是构建柔性神经电极绝缘层的关键装备，核心价值在于能够在较低温度（通常低于250°C）下，以高沉积速率和良好性价比实现氧化硅与氮化硅介质层的高效成型。该技术通过平行板电极施加射频功率产生等离子体，尽管等离子体密度较低、电子温度较高，可能引入一定离子轰击损伤和薄膜应力，但其镀膜速度优势明显，特别适用于要求较大膜厚的绝缘层制备，可实现柔性神经电极及传感器微纳结构之间的电气隔离功能，成为绝缘介质层制备工艺中不可或缺的技术平台。	否

是否专门面向中小企业或小型、微型企业采购：否。

合同履行期限：自合同签订之日起至质量保证期结束。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无。

3.本项目的特定资格要求：（1）本项目开标日前被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单（处罚期限尚未届满的），不得参与本项目的投标，[以“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和“中国政府采购网”（www.ccgp.gov.cn）采购代理机构评标当日的查询记录为准]；（2）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一合同项下的政府采购活动；为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得参加本项目的投标；（3）投标人必须通过下述第三条“**

本公告详情仅供VIP会员或SVIP会员查阅，您当前权限无法查看完整内容，请先 登录 或 注册 ，办理会员入网事宜后按照后续流程参与投标！

联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com